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德國海德漢heidenhain高精度直線光柵尺工作原理

發布時間: 2025-02-24  點擊次數: 789次

德國海德漢heidenhain高精度直線光柵尺基礎信息:

直線光柵尺測量直線軸位置無需任何中間機械連接件。因此,可避免許多潛在誤差源,例如反向間隙、螺距誤差或循環滾珠絲杠發熱。只要位置精度嚴格和加工速度高,那么直線光柵尺。

LIC 4100系列

絕對式直線光柵尺

高精度和大測量長度

支持不同的安裝方式

鋼尺帶、玻璃陶瓷或玻璃基體的光柵

可帶功能安全特性

高速運動的直線軸

測量長度達28 m

超小測量步距版(<1 nm

可提供高真空版

可提供功能安全特性

支持不同的安裝方式

接口:EnDat、發那科、三菱、松下和安川

德國海德漢heidenhain高精度直線光柵尺功能安全特性

該系列的部分編碼器可提供功能安全特性和機械連接防松保護功能。集成到系統中后,該解決方案可提供SIL 2級的安全性,最大限度減少故障和支持機床的安全工作。

應用的多樣性

該系列產品應用廣泛。LIC系列直線光柵尺亮點多,設計堅固,精度高,支持高速度和大測量長度。部分版本的光柵尺可在高安全性環境或高真空度應用中使用。

高運動速度

LIC系列直線光柵尺不僅精度高,而且支持高速運動。測量步距僅1 nm和運動速度可高達600 m/min。絕對式位置測量,并且抗污性能優異,可靠性高。

大測量長度

可選該系列直線光柵尺的不同版本,測量長度可達28米。這些光柵尺擁有高動態性能、高可靠性并在測量長度的全長上保持一致的高精度。

對污染不敏感

這系列光柵尺采用大掃描區設計,擁有優異的抗污性能。測量基準上的局部異物幾乎不影響信號質量和測量可靠性。

海德漢heidenhain高精度直線光柵尺原理

光電式原理:通過光源發出光線,經過聚光鏡后照射到標尺光柵和指示光柵上。當標尺光柵與指示光柵相對移動時,會產生莫爾條紋,光敏元件將莫爾條紋的光強變化轉換為電信號,通過對電信號的處理和計數,就能精確測量出直線位移量。

電磁感應式原理:利用電磁感應現象,當標尺光柵與感應頭相對移動時,在感應頭的線圈中產生感應電動勢,其大小和相位與位移量相關,經過信號處理電路解算出位移信息。

電容式原理:由固定電極和可動電極組成,可動電極隨被測物體移動,固定電極和可動電極之間的電容值會隨著相對位移的變化而變化,通過測量電容值的變化來計算出直線位移。

海德漢heidenhain高精度直線光柵尺特點

高精度:能夠實現微米級甚至納米級的測量精度,滿足各種高精度加工和測量需求。

高分辨率:可以精確地分辨出極小的位移變化,提供豐富的測量細節。

響應速度快:能夠快速地跟蹤被測物體的移動,實時輸出測量數據,適用于高速運動的測量場合。

可靠性高:采用了先進的制造工藝和優質的材料,具有良好的穩定性和抗干擾能力,能夠在惡劣的工作環境下長期穩定工作。

非接觸式測量:標尺光柵和指示光柵之間沒有直接接觸,減少了磨損和摩擦,提高了使用壽命,同時也避免了因接觸而產生的測量誤差。

海德漢heidenhain高精度直線光柵尺應用領域

機床加工領域:用于數控機床的位置反饋,精確控制工作臺、刀具等的移動位置,提高加工精度,保證零件的加工質量。在磨床、銑床、車床等各類機床上都有廣泛應用。

半導體制造領域:在光刻機、刻蝕機等半導體制造設備中,用于精確控制晶圓的定位和移動,確保芯片制造的高精度和一致性。

測量儀器領域:如三坐標測量儀、工具顯微鏡等,用于精確測量物體的尺寸、形狀和位置,為質量檢測和控制提供準確的數據支持。

自動化生產線領域:用于自動化生產線中工件的定位和檢測,實現自動化生產過程的精確控制和質量監控,提高生產效率和產品質量。

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